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申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日：2023-08-25
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN220934101U
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L21/68;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.10#授权
摘要：本实用新型公开了一种翻转定位装置，包括翻转驱动组件、支撑组件、立柱夹紧组件、支板压紧组件和托片组件，支撑组件安装在翻转驱动组件上，翻转驱动组件用于带动支撑组件翻转，立柱夹紧组件安装在支撑组件上，立柱夹紧组件用于夹紧石英舟的立柱，支板压紧组件安装在立柱夹紧组件上，支板压紧组件用于将石英舟的支板压紧在支撑组件上，托片组件安装在立柱夹紧组件，托片组件用于托住石英舟内的硅片。本申请实施例的翻转定位装置，支板压紧组件可以将石英舟的支板压紧在支撑组件上，可以稳固夹持石英舟，石英舟翻转过程中，石英舟不易滑动，石英舟内的硅片不易掉落。
主权项：1.一种翻转定位装置，其特征在于，包括：翻转驱动组件；支撑组件，安装在所述翻转驱动组件上，所述翻转驱动组件用于带动所述支撑组件翻转；立柱夹紧组件，安装在所述支撑组件上，所述立柱夹紧组件用于夹紧石英舟的立柱；支板压紧组件，安装在所述立柱夹紧组件上，所述支板压紧组件用于将石英舟的支板压紧在所述支撑组件上；托片组件，安装在所述立柱夹紧组件，所述托片组件用于托住石英舟内的硅片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 翻转定位装置
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