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龙图腾网恭喜常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司申请的专利一种超低压真空系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221988656U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420655912.1，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种超低压真空系统是由冯磊设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超低压真空系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了低压设备技术领域的一种超低压真空系统，包括基架，所述基架的表面固定连接有两组冷阱，在所述冷阱上均安装有球阀、尾气管，两组所述球阀均通过管道和DN100气动调节阀、DN50气动调节阀相连通，所述DN100气动调节阀、DN50气动调节阀呈并列设置；本方案通过加大尾气管管径，配备二级真空螺杆泵提升抽真空的效率，可将一级液环真空泵对反应室压力的极限抽力由50mbar下降至4mbar，保证氮铝钛超低压的生产工艺条件。设备管道带有清洗口，免拆解、易维护，保证管路的清洁度。低压真空螺杆泵带有自动清洗结构，方便生产后清洗。设备可运行两种模式，常规非低压模式和低压模式，兼容性极高，方便切换工艺。

本实用新型一种超低压真空系统在权利要求书中公布了：1.一种超低压真空系统，包括基架11，其特征在于：所述基架11的表面固定连接有两组冷阱6，在所述冷阱6上均安装有球阀5、尾气管7，两组所述球阀5均通过管道2和DN100气动调节阀3、DN50气动调节阀4相连通，所述DN100气动调节阀3、DN50气动调节阀4呈并列设置，所述DN100气动调节阀3、DN50气动调节阀4均通过管道2和真空螺杆泵1相连通，所述管道2上设置有若干组清洗口8，所述管道2和DN50气动调节阀4相连通一端设置有连通口9，所述连通口9用于连接中和站真空液环泵。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司，其通讯地址为：213100 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区龙惠路7号D栋北1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。