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恭喜联盛半导体科技(无锡)有限公司白如意获国家专利权

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龙图腾网恭喜联盛半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种清洗花篮防压装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221994434U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323290205.1,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种清洗花篮防压装置是由白如意;王志广;马玉水设计研发完成,并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种清洗花篮防压装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种清洗花篮防压装置,涉及硅片清洗技术领域,包括两相互平行且顶面平齐的导轨、存取花篮机构、花篮槽、控制装置;花篮槽设置在两导轨的下方;存取花篮机构包括安装在两导轨上的滑块,滑块上安装有滑块驱动装置、支架,滑块中部垂直向设有通孔;滑块驱动装置与一导轨相连;支架上设有升降杆、升降杆升降驱动装置、若干升降杆升降测量传感器;升降杆穿过通孔,升降杆底端设有花篮提架,升降杆升降驱动装置与升降杆相连,升降杆升降测量传感器设置在支架顶端;升降杆升降测量传感器、滑块驱动装置、升降杆升降驱动装置分别与控制装置相连。本实用新型清洗花篮防压装置可避免清洗花篮在存取的时候被挤压损坏的情况发生。

本实用新型一种清洗花篮防压装置在权利要求书中公布了:1.一种清洗花篮防压装置,其特征在于:包括两相互平行且顶面平齐的导轨(1)、存取花篮机构(2)、花篮槽(3)、控制装置;花篮槽(3)设置在两导轨(1)的下方;存取花篮机构(2)包括安装在两导轨(1)上的滑块(21),滑块(21)上安装有滑块驱动装置(22)、支架(23),滑块(21)中部垂直向设有通孔(24);滑块驱动装置(22)与一导轨(1)相连;支架(23)上设有升降杆(25)、升降杆升降驱动装置(26)、若干升降杆升降测量传感器(27);升降杆(25)穿过通孔(24),升降杆(25)底端设有花篮提架(28),升降杆升降驱动装置(26)与升降杆(25)相连,升降杆升降测量传感器(27)设置在支架(23)顶端;升降杆升降测量传感器(27)、滑块驱动装置(22)、升降杆升降驱动装置(26)分别与控制装置相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人联盛半导体科技(无锡)有限公司,其通讯地址为:214192 江苏省无锡市锡山经济技术开发区芙蓉中三路99号青云3座;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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