恭喜江苏京创先进电子科技有限公司周鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏京创先进电子科技有限公司申请的专利晶圆夹取装置及晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221994448U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323286541.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆夹取装置及晶圆加工设备是由周鑫;胡小波;刘炳先;刘亚杰;刘桂芳设计研发完成，并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆夹取装置及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了晶圆夹取装置及晶圆加工设备，其中晶圆夹取装置包括夹爪座，所述夹爪座上设置有晶圆夹爪，所述晶圆夹爪的爪体沿铅垂方向移动开闭，所述夹爪座可直线平移地设置在固定板上，所述夹爪座连接使其移动后复位的弹性件，所述固定板上设置有用于检测所述夹爪座向所述固定板的移动行程是否超过限定范围的检测传感器。本实用新型使晶圆夹爪可移动地设置在固定板上并连接弹性件，使得晶圆夹爪具有一定的缓冲能力，因此，在夹爪前伸时也能够通过其移动来减小对晶圆施加的压力，减少晶圆因为硬碰撞损坏的风险，并且增加了检测传感器来检测夹爪座的位置，能够及时发现异常情况并控制伺服模组停止，从而能够有效地提高夹取晶圆的安全性。
本实用新型晶圆夹取装置及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.晶圆夹取装置，包括夹爪座，所述夹爪座上设置有晶圆夹爪，所述晶圆夹爪的爪体沿铅垂方向移动开闭，其特征在于：所述夹爪座可直线平移地设置在固定板上，所述夹爪座连接使其移动后复位的弹性件，所述固定板上设置有用于检测所述夹爪座向所述固定板的移动行程是否超过限定范围的检测传感器。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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