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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利晶圆载具及机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221994444U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323573387.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆载具及机台是由张鑫;刘文彬;陶磊设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆载具及机台在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆载具及机台，该晶圆载具包括工作台，用于承载晶圆，工作台具有晶圆放置槽；工作台承载晶圆时，晶圆放置槽的槽边支撑晶圆的边缘，晶圆与晶圆放置槽的底面之间具有间隙；底部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽内，用于对所述晶圆施加第一压力；顶部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽的上方，用于对所述晶圆施加第二压力。该晶圆载具通过给与晶圆气压，使晶圆放置在工作台上时不弯曲，提高晶圆修整的准确性，使晶圆更容易达到加工标准，提高生产良率。

本实用新型晶圆载具及机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具，其特征在于，包括：工作台，用于承载晶圆，所述工作台具有晶圆放置槽；所述工作台承载所述晶圆时，所述晶圆放置槽的槽边支撑所述晶圆的边缘，所述晶圆与所述晶圆放置槽的底面之间具有间隙；底部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽内，用于对所述晶圆施加第一压力；顶部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽的上方，用于对所述晶圆施加第二压力；其中，所述工作台承载所述晶圆时，所述底部吹气装置与所述顶部吹气装置分别位于所述晶圆相对的两侧；所述第二压力与所述第一压力的方向相反，所述第一压力与所述第二压力共同作用于所述晶圆，以调整所述晶圆的弯曲值。

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