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恭喜西安诺瓦星云科技股份有限公司何正琦获国家专利权

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龙图腾网恭喜西安诺瓦星云科技股份有限公司申请的专利清洗装置及返修设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221994422U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323599692.X,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型清洗装置及返修设备是由何正琦;白绳武设计研发完成,并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

清洗装置及返修设备在说明书摘要公布了:本申请属于晶圆缺陷维修技术领域,提供了一种清洗装置及返修设备,清洗装置包括清洗组件、活动座、磁吸组件、传动机构及驱动组件;磁吸组件连接于清洗组件和活动座之间,以用于使清洗组件磁吸连接于活动座上;驱动组件通过传动机构与活动座联动配合,以使清洗组件沿预设轨迹运动。本申请旨在解决现有技术中清洗部件更换费时费力的技术问题。

本实用新型清洗装置及返修设备在权利要求书中公布了:1.一种清洗装置,其特征在于,包括清洗组件1、活动座2、磁吸组件8、传动机构3及驱动组件7;所述磁吸组件8连接于所述清洗组件1和所述活动座2之间,以用于使所述清洗组件1磁吸连接于所述活动座2上;所述驱动组件7通过传动机构3与所述活动座2联动配合,以使所述清洗组件1沿预设轨迹运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安诺瓦星云科技股份有限公司,其通讯地址为:710000 陕西省西安市高新区云水三路1699号诺瓦科技园2号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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