恭喜星钥(珠海)半导体有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜星钥(珠海)半导体有限公司申请的专利一种新型抛光盘及晶圆抛光机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221984635U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420087088.4，技术领域涉及：B24B7/22；该实用新型一种新型抛光盘及晶圆抛光机台是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型抛光盘及晶圆抛光机台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种新型抛光盘及晶圆抛光机台，包括多个互相套嵌的旋转区域；不同的旋转区域的转速由内至外逐渐降低。本实用新型将抛光盘分区，设置为嵌套的旋转区域，越靠外的旋转区域的转速越低，以便与更大的旋转半径抵消，最终将不同的旋转区域的线速度调整至趋于一致，从而使新型抛光盘上的不同位置的磨损程度也趋于一致，改善了抛光垫内部和外部因线速度不同而导致的外侧磨损程度高于内侧磨损程度的现况，提升了抛光垫的使用寿命，也提升了研磨成品的良品率。
本实用新型一种新型抛光盘及晶圆抛光机台在权利要求书中公布了：1.一种新型抛光盘，其特征在于，包括多个互相套嵌的旋转区域；不同的旋转区域的转速由内至外逐渐降低；所述旋转区域为环形旋转区域；所述新型抛光盘包括一个圆形旋转区域及一个环形旋转区域；所述环形旋转区域套设在所述圆形旋转区域外侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星钥(珠海)半导体有限公司，其通讯地址为：519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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