恭喜无锡琨圣芯成科技有限公司李鹏获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡琨圣芯成科技有限公司申请的专利一种晶圆载具的清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221983450U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420222375.1，技术领域涉及：B08B13/00；该实用新型一种晶圆载具的清洗装置是由李鹏;邵玉林;请求不公布姓名;王佳伟;王锴设计研发完成，并于2024-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载具的清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆载具的清洗装置，包括集成框架以及用于上料的上料组件；所述集成框架包括旋转部、支撑部以及用于连接所述上料组件的连接部；所述支撑部设置有用于调节所述集成框架的旋转重心的调节件；所述上料组件包括用于放入晶圆载具的放料口以及用于限定所述放料口与所述旋转部的相对位置的限位件。所述清洗装置能够实现在不同清洗需求下保持所述清洗装置的重心稳定，从而达到保证烘干效果的同时降低机器烘干振动和噪音，从而提高清洗机器的性能和稳定性的目的。
本实用新型一种晶圆载具的清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具的清洗装置，其特征在于：包括集成框架（100）以及用于上料的上料组件（200）；所述集成框架（100）包括旋转部（110）、支撑部（120）以及用于连接所述上料组件（200）的连接部（130）；所述支撑部（120）设置有用于调节所述集成框架（100）的旋转重心的调节件（121）；所述上料组件（200）包括用于放入晶圆载具的放料口（210）以及用于限定所述放料口（210）与所述旋转部（110）的相对位置的限位件（220）。
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