恭喜上海探跃半导体设备有限公司梁宇辰获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海探跃半导体设备有限公司申请的专利承载盘及检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221992630U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420577245.X,技术领域涉及:G01B11/02;该实用新型承载盘及检测设备是由梁宇辰;李华设计研发完成,并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载盘及检测设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于掩膜版检测技术领域,尤其涉及一种承载盘及检测设备。该承载盘包括盘体、容置槽和第一吸气孔,容置槽设于盘体上,掩膜版置于容置槽内并与容置槽的侧壁抵接,容置槽的侧壁能限制掩膜版沿水平方向产生位移;第一吸气孔设于容置槽的承载面上,第一吸气孔能吸附掩膜版,以限制掩膜版沿竖直方向产生位移。容置槽的侧壁与第一吸气孔共同作用,解决了现有技术中旋转承载盘的过程中,掩膜版会产生相对位移的问题,提高了掩膜版的检测效率及检测结果的准确性。
本实用新型承载盘及检测设备在权利要求书中公布了:1.承载盘,其特征在于,包括:盘体10;容置槽20,所述容置槽20设于所述盘体10上,掩膜版置于所述容置槽20内并与所述容置槽20的侧壁抵接,所述容置槽20的侧壁能限制所述掩膜版沿水平方向产生位移;第一吸气孔30,所述第一吸气孔30设于所述容置槽20的承载面上,所述第一吸气孔30能吸附所述掩膜版,以限制所述掩膜版沿竖直方向产生位移。
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