恭喜苏州展德自动化设备有限公司狄建科获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州展德自动化设备有限公司申请的专利晶片膜和扩晶内环自动对位设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109301043B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201811336187.7,技术领域涉及:H01L33/00;该发明授权晶片膜和扩晶内环自动对位设备是由狄建科;秦松;胡斌;张大勇设计研发完成,并于2018-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片膜和扩晶内环自动对位设备在说明书摘要公布了:本发明涉及晶片膜和扩晶内环自动对位设备,包括底板以及置于其上的旋转吸附装置和压实装置,旋转吸附装置包括旋转板和基板,基板上的立柱安装中间板,支板通过支撑柱吊装于中间板下方,中间板上安装有旋转轴承,旋转板上的旋转轴旋转自如地支撑于旋转轴承上,动力单元与旋转板的旋转轴驱动连接,旋转板上设置有圆形通孔和环形燕尾槽,其四周布置有真空吸头;压实装置包括压板和滑轨,两平行设置的滑轨上分别布置有滑块,滑块上固定气缸安装板,气缸安装板上竖立安装压实气缸,两对称设置的压实气缸的活塞杆上连接支撑压板,压板上设置有圆形通孔。实现晶片膜和扩晶内环自动对位,先自动放置扩晶内环再自动放置晶片膜,消除中心位置偏差问题。
本发明授权晶片膜和扩晶内环自动对位设备在权利要求书中公布了:1.晶片膜和扩晶内环自动对位设备,其特征在于:包括底板以及置于其上的旋转吸附装置和压实装置,压实装置位于旋转吸附装置的旁侧;所述旋转吸附装置包括旋转板、中间板、支板以及基板,基板固定在底板上,基板上分布有立柱,立柱上端安装中间板,支板通过支撑柱吊装于中间板下方,支板上安装有动力单元,中间板上安装有旋转轴承,旋转板上的旋转轴旋转自如地支撑于旋转轴承上,动力单元与旋转板的旋转轴驱动连接,可驱动旋转板旋转运动,旋转板上设置有圆形通孔以及环形燕尾槽,圆形通孔的四周布置有真空吸头;所述压实装置包括压板、压实气缸、气缸安装板以及滑轨,两平行设置的滑轨上分别布置有滑块,每一滑块上固定一气缸安装板,气缸安装板上竖立安装一压实气缸,两对称设置的压实气缸的活塞杆上连接支撑压板,驱动压板上下运动,压板上设置有圆形通孔。
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