恭喜中国科学院宁波材料技术与工程研究所刘宁涛获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请的专利一种氧化镓日盲紫外探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113659029B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110771147.0,技术领域涉及:H01L31/103;该发明授权一种氧化镓日盲紫外探测器是由刘宁涛;张文瑞;叶继春设计研发完成,并于2021-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化镓日盲紫外探测器在说明书摘要公布了:本发明提供一种氧化镓日盲紫外探测器,包括衬底层、氧化镓层、钝化层、铁电层和电极层,所述氧化镓层设置在所述衬底层的表面,所述钝化层设置在所述氧化镓层的表面,所述铁电层设置在所述钝化层的表面,所述铁电层覆盖部分所述钝化层,所述电极层覆盖于所述氧化镓层之上。本发明设计了一种新型氧化镓日盲紫外探测器,通过引入铁电层,利用铁电材料自发极化形成的局域场,调控铁电层覆盖下氧化镓层的能带结构,由此实现氧化镓层同质PNNPNPNP结的构建,提高探测器的光电增益和光生载流子的分离效率,从而获得低功耗、高可靠性、高灵敏度的日盲紫外光电探测器。
本发明授权一种氧化镓日盲紫外探测器在权利要求书中公布了:1.一种氧化镓日盲紫外探测器,其特征在于,包括衬底层、氧化镓层、钝化层、铁电层和电极层,所述氧化镓层设置在所述衬底层的表面,所述钝化层设置在所述氧化镓层的表面,所述铁电层设置在所述钝化层的表面,所述铁电层覆盖部分所述钝化层,所述电极层与所述氧化镓层接触,所述铁电层的材料选自PbZr,TiO3基铁电材料、BaTiO3基铁电材料、BiFeO3基铁电材料、Bi,NaTiO3基铁电材料或聚偏氟乙烯基聚化物中的一种,所述铁电层覆盖13-23的所述钝化层,所述铁电层的厚度介于20nm-300nm,所述钝化层的厚度介于5nm-100nm。
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