恭喜江苏亚电科技股份有限公司李刚获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222029052U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420601618.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置是由李刚;童建;李博伦设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置，设置三个加热器，预加热罐内的第一加热器将磷酸清洗液加热到80℃‑90℃，80℃‑90℃的磷酸溶液较为稳定，不容易失水，并且粘度适中，由于磷酸溶液预先进行加热减少了第二加热器的加热工作量，使得整体生产时间缩短。在晶圆清洗阶段，由循环加热器维持磷酸清洗槽内温度稳定。
本实用新型一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置，其特征在于，包括：磷酸储液罐1，用于存储磷酸；预加热罐2，所述预加热罐2与磷酸储液罐1连通，具有第一软水进水管21且内部具有第一加热器22，预加热罐2能够接收第一软水进水管21通入的纯水和来自磷酸储液罐1的磷酸，以配置所需浓度的磷酸清洗液；第二加热器31，贴附在磷酸清洗槽3的槽壁上，所述磷酸清洗槽3与所述预加热罐2连通，第二加热器31将磷酸清洗液加热到所需温度；循环加热器4，与所述磷酸清洗槽3连接，磷酸清洗槽3内的磷酸清洗液能够经过循环加热器4的加热再次回流到磷酸清洗槽3内。
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