恭喜东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司李细柳获国家专利权
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龙图腾网恭喜东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利一种射频平面阴极及射频镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222024474U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420663324.2,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种射频平面阴极及射频镀膜设备是由李细柳;袁逢曾设计研发完成,并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种射频平面阴极及射频镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种射频平面阴极及射频镀膜设备,其包括屏蔽板、磁靴组件和导电连接件,磁靴组件安装在屏蔽板的一侧,屏蔽板远离磁靴组件的一侧用于接入射频电源,导电连接件设置在屏蔽板的端部,导电连接件分别与屏蔽板和磁靴组件相接触,并向远离屏蔽板的方向延伸,导电连接件用于与外部导电板电连接。当将射频阴极平面与外部导电板安装在一起时,导电连接件夹设在屏蔽板和外部导电板之间,分别与屏蔽板和外部导电板相接触,将屏蔽板和磁靴组件处的射频电能传输至外部导电板,导电更加稳定和可靠。
本实用新型一种射频平面阴极及射频镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种射频平面阴极,其特征在于,包括屏蔽板、磁靴组件和导电连接件,所述磁靴组件安装在所述屏蔽板的一侧,所述屏蔽板远离所述磁靴组件的一侧用于接入射频电源,所述导电连接件设置在所述屏蔽板的端部,所述导电连接件分别与所述屏蔽板和磁靴组件相接触,并向远离所述屏蔽板的方向延伸,所述导电连接件用于与外部导电板电连接。
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