恭喜浙江富同石英新材料有限公司沈雪飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江富同石英新材料有限公司申请的专利高强度新型石英舟托获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222029055U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323336678.0,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型高强度新型石英舟托是由沈雪飞;潘其明;吴彬彬;潘华;胡俊设计研发完成,并于2023-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本高强度新型石英舟托在说明书摘要公布了:本实用新型公开了高强度新型石英舟托,包括有内舟托和外舟托,内舟托包括有左侧板和右侧板,左侧板和右侧板之间连接有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆,底支撑杆上和侧支撑杆上分别设有夹槽,左侧板上盖有左顶板,右侧板上盖有右顶板,左顶板和左顶板之间固定连接有若干顶限位杆,外舟托包括有底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板和活动顶板。本实用新型的高强度新型石英舟托,通过设置内舟托和外舟托对内部产品形成双层保护,有效的减少了石英舟托内部产品的晃动,减少收到外力作用磕碰划伤的可能。同时不影响产品放入高温退火炉中退火等加工的正常进行。本申请的高强度新型石英舟托适合12英寸及以上大尺寸硅片产品的使用。
本实用新型高强度新型石英舟托在权利要求书中公布了:1.高强度新型石英舟托,其特征在于,包括有内舟托和外舟托,所述内舟托设于外舟托内部,所述内舟托包括有左侧板和右侧板,左侧板和右侧板之间连接有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆,侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度,侧支撑杆位于底支撑杆的上方两侧,底支撑杆上和侧支撑杆上分别设有夹槽,底支撑杆上的夹槽和侧支撑杆上的夹槽一一对应,左侧板上盖有左顶板,右侧板上盖有右顶板,左顶板和左顶板之间固定连接有若干顶限位杆,所述外舟托包括有底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板和活动顶板,所述底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板围成上端带有开口的盒体结构,所述活动顶板可拆卸的盖住开口,所述底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板和活动顶板上分别设有连通外舟托内部的窗口,所述内舟托和外舟托分别由石英材料制成。
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