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恭喜润斯普瑞超声科技(苏州)有限公司纪文昌获国家专利权

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龙图腾网恭喜润斯普瑞超声科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体晶圆超声波清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222020247U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323595974.2,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种半导体晶圆超声波清洗机是由纪文昌;刘涛设计研发完成,并于2023-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体晶圆超声波清洗机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体晶圆清洗技术领域,具体涉及一种半导体晶圆超声波清洗机,包括清洗机主体,所述清洗机主体右侧中部设有进水管,清洗机主体左侧底部设有出水管,且清洗机主体左侧铰接有防护门,所述进水管左端与清洗机主体内设有的清洗腔贯通连接,所述清洗腔左侧底部与出水管贯通连接,清洗机主体内清洗腔的外围设有工作腔。本实用新型中,通过电缸与抛动架的配合,对晶圆起到一个全面的清洗效果,有利于提高晶圆的清洗效率通过设置紧固组件,起到一个快速固定清洗网篮的作用,同时,清洗网篮内可放置多个晶圆,有利于提高晶圆的清洗效率。

本实用新型一种半导体晶圆超声波清洗机在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆超声波清洗机,包括清洗机主体1,所述清洗机主体1右侧中部设有进水管11,清洗机主体1左侧底部设有出水管12,且清洗机主体1左侧铰接有防护门13,所述进水管11左端与清洗机主体1内设有的清洗腔14贯通连接,所述清洗腔14左侧底部与出水管12贯通连接,清洗机主体1内清洗腔14的外围设有工作腔15,其特征在于:清洗腔14左侧外壁接近顶端的位置开设有矩形通槽16,所述工作腔15;清洗腔14内设有清洗网篮2,所述清洗网篮2设置于抛动架3上,所述抛动架3右端位于清洗腔14,抛动架3左端位于工作腔15内,且抛动架3左端下方设有电缸4;清洗网篮2上设有用于固定清洗网篮2的紧固组件5;清洗腔14下方的清洗机主体1底板上安装有超声波发生器6,且清洗腔14底板底部安装有超声波换能器7。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人润斯普瑞超声科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215134 江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路35号15号楼4层403室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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