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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种工作台及背面对准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110504203B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810481198.8，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种工作台及背面对准装置是由蔡晨;王鑫鑫设计研发完成，并于2018-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工作台及背面对准装置在说明书摘要公布了：本发明属于集成电路制造技术领域，具体公开了一种工作台及背面对准装置。本发明公开的工作台包括水平基座、气足、吸盘和第一导气组件；水平基座上开设有贯穿水平基座上表面的透光孔；气足设置在水平基座上，且能相对水平基座在水平面上移动，气足上间隔开设有多个第一通光孔，当气足在水平基座上移动时，多个第一通光孔能分别与透光孔导通；吸盘设置在气足上方，能相对气足进行三个自由度上的转动及沿垂直方向平移，吸盘对应于第一通光孔的位置开设有第二通光孔；第一导气组件，吸盘上表面设置有用于吸附基底的第一吸附气道，第一导气组件一端与气足连通，另一端与第一吸附气道连通。本发明提供的工作台及背面对准装置，结构简单，成本较低。

本发明授权一种工作台及背面对准装置在权利要求书中公布了：1.一种工作台，其特征在于，包括：水平基座1，其上开设有贯穿所述水平基座1上表面的透光孔11，所述透光孔11内设置有第一透光片12；气足2，设置在所述水平基座1上，且能相对所述水平基座1在水平面上移动，所述气足2上间隔开设有多个第一通光孔211，当所述气足2在所述水平基座1上移动时，多个所述第一通光孔211能分别与所述透光孔11导通；吸盘5，设置在所述气足2上方，所述吸盘5能相对所述气足2进行三个自由度上的转动及能相对所述气足2沿垂直方向平移，所述吸盘5对应于所述第一通光孔211的位置开设有第二通光孔51，所述第一通光孔211与所述第二通光孔51连通，所述第二通光孔51内设置有第二透光片52，所述吸盘5上表面还设置有用于吸附基底20的第一吸附气道；第一导气组件6，所述第一导气组件6一端与所述气足2内部连通，另一端与所述第一吸附气道连通；吸盘座4，上端与所述吸盘5连接，下端与所述气足2连接；所述吸盘座4对应于所述第一通光孔211的位置开设有第三通光孔41，所述第三通光孔41分别与所述第一通光孔211和所述第二通光孔51连通；所述吸盘座4的上表面和所述吸盘5的下表面中的至少一个开设有第二吸附气道42，所述第一导气组件6与所述第二吸附气道42连通。

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