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龙图腾网恭喜李华芳申请的专利一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111992428B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010773954.1，技术领域涉及：B05C5/02；该发明授权一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置是由李华芳设计研发完成，并于2020-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，其结构包括机体、防尘罩、支撑腿、控制开关、显示屏和电源线，通过在防尘罩内部下端左右水平相对设置了辅助顶出装置，通过控制开关启动驱动机构，驱动机构带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，第二活动块带动推杆进行活动，推杆带动承载盘进行活动，达到辅助顶出承载盘的效果，通过在第一活动块内中部设置了驱动机构，通过控制开关启动第二电机，第二电机带动第二转轴进行转动，第二转轴带动小齿轮进行转动，小齿轮带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，达到驱动第二活动块的效果，本装置使用方便操作简单，有效的提高了工作效率。

本发明授权一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，包括机体1，其特征在于，还包括：承载盘9，用于对晶圆进行放置；辅助顶出装置19，用于对所述承载盘9进行辅助顶出；支撑腿3，用于对所述机体1进行固定支撑；活动门7，用于对所述机体1进行打开或关闭；把手8，用于对所述活动门7进行驱动；涂抹头12，用于对晶圆表面进行涂布；其中，所述支撑腿3呈圆柱体状，并且所述支撑腿3共设置有四个；其中，所述把手8外表面设置有一层防滑纹路；所述机体1顶端中部设置有防尘罩2，所述机体1底部四端固定有所述支撑腿3，所述机体1前端面中部设置有控制开关4，所述机体1前端面上端设置有显示屏5，并且所述显示屏5与所述控制开关4电连接，所述机体1背面右端设置有电源线6，并且所述电源线6与所述控制开关4电连接；所述机体1右端中部设置有活动门7，所述活动门7右端固定有把手8，所述防尘罩2内部设置有承载盘9，所述机体1顶部右后端固定有第一伸缩杆10，并且所述第一伸缩杆10与所述控制开关4电连接，所述第一伸缩杆10前端面上端设置有第二伸缩杆11，并且所述第二伸缩杆11与所述控制开关4电连接，所述第二伸缩杆11底部前端设置有涂抹头12，所述涂抹头12右端设置有导管13；所述机体1内部右端安装有储料筒14，并且所述导管13与所述储料筒14呈贯通结构，所述机体1内中部安装有第一电机15，并且所述第一电机15与所述控制开关4电连接，所述第一电机15顶部设置有转盘16，并且所述转盘16与所述第一电机15输出端转动连接，所述转盘16内部等距嵌入有卡槽17，所述承载盘9底部等距固定有定位杆18，并且所述定位杆18与所述卡槽17内侧面相插接，所述防尘罩2内部下端左右水平相对设置有辅助顶出装置19；所述辅助顶出装置19包括第一活动块191、驱动机构192、第一连接件193、导向杆194、第二连接件195、第二活动块196、大齿轮197、第一转轴198和推杆199，所述第一活动块191内中部设置有所述驱动机构192，所述第一活动块191左右水平相对固定有所述第一连接件193，所述导向杆194贯穿于所述第一连接件193中部，并且所述第一连接件193与所述导向杆194外表面下端滑动连接，所述第二连接件195与所述导向杆194外表面上端活动连接，所述第二活动块196与所述第二连接件195右端固定连接，所述大齿轮197与所述第二活动块196内中部转动连接，所述第一转轴198贯穿于所述第二活动块196中部，并且所述第一转轴198贯穿于所述大齿轮197右下端，所述推杆199左右水平相对固定于所述第二活动块196顶部，所述第一活动块191与所述防尘罩2内部左下端固定连接；所述驱动机构192包括第二电机1921、第二转轴1922和小齿轮1923，所述第二电机1921右端设置有所述第二转轴1922，并且所述第二转轴1922与所述第二电机1921输出端转动连接，所述第二转轴1922贯穿于所述小齿轮1923下端，所述小齿轮1923与所述大齿轮197外表面相互啮合，所述第二电机1921安装于所述第一活动块191左端，所述第二转轴1922贯穿于所述第一活动块191中部；所述导向杆194呈圆柱体状，并且所述导向杆194外表面设置为光滑平面。

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