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龙图腾网恭喜江苏无恙半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111889437B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010875221.9，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种晶圆清洗机是由姬煜;赵通设计研发完成，并于2020-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗机在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆清洗机，涉及晶圆加工领域。该晶圆清洗机，包括装置主体，所述装置主体的内底部固定连接有清洗台，所述装置主体的内底部且位于清洗台的两侧均设置有滑轨，所述滑轨的表面且靠近前端与后端均滑动连接有滑动板，所述滑动板的上表面均固定连接有第一电推杆，所述第一电推杆的活动端固定连接有第一活动杆，所述第一活动杆的顶部固定连接有安装板，所述安装板的上表面通过支杆固定连接有分流管，所述分流管的表面固定安装有多个喷嘴。通过对清洗机的结构设计，使得该清洗机在进行晶圆清洗时能够同时对个晶圆进行清洗，并且能够满足两面同时进行的清洗的效果，进而能够大大增加清洗的效率。

本发明授权一种晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗机，包括装置主体1，其特征在于：所述装置主体1的内底部固定连接有清洗台2，所述装置主体1的内底部且位于清洗台2的两侧均设置有滑轨4，所述滑轨4的表面且靠近前端与后端均滑动连接有滑动板5，所述滑动板5的上表面均固定连接有第一电推杆7，所述第一电推杆7的活动端固定连接有第一活动杆8，所述第一活动杆8的顶部固定连接有安装板9，所述安装板9的上表面通过支杆固定连接有分流管10，所述分流管10的表面固定安装有多个喷嘴11，所述安装板9的一端通过轴承活动连接有毛刷辊12，所述安装板9的侧壁固定连接有传动电机13，所述传动电机13的输出端与毛刷辊12相连接，所述装置主体1的内顶部固定连接有伸缩气缸16，所述伸缩气缸16的活动端固定连接有伸缩杆17，所述伸缩杆17的底部固定连接有固定压板18，所述固定压板18的两侧壁均固定连接有侧板6，所述装置主体1的侧壁设置有储液箱21，所述装置主体1的侧壁且位于储液箱21的上方固定连接有泵体22。

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