恭喜住华科技股份有限公司杨清河获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜住华科技股份有限公司申请的专利溅射靶材及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110684950B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910183904.5，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权溅射靶材及其使用方法是由杨清河;吴智稳;翁基祥;苏梦鹏设计研发完成，并于2019-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射靶材及其使用方法在说明书摘要公布了：溅射靶材及其使用方法。溅射靶材包括背板、溅射板与保护单元。背板具有上表面。溅射板设置在上表面上，并具有一溅射板边缘。保护单元设置在上表面上，并相邻溅射板边缘。本发明技术方案通过保护单元、中间保护单元共同防止背板在溅射工艺中被溅射消耗而损坏的问题产生，以进一步延长背板的使用寿命，因此可降低制造成本，且更换保护单元等的方法简单、快速，可提升工艺效率。
本发明授权溅射靶材及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种溅射靶材，其特征在于，该溅射靶材包括：一背板；一溅射板，设置在该背板的一上表面上，并具有一溅射板边缘；一保护单元，设置在该背板的至少一凹口中，并相邻该溅射板边缘，其中该保护单元的一上表面是齐平该背板的该上表面并且接触该溅射板；该保护单元包括一第一保护部及一第二保护部，该第一保护部露出于该溅射板，该第二保护部乘载该溅射板并与该溅射板重叠；其中，该保护单元可卸除地设置在该背板的该至少一凹口中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人住华科技股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾台南市善化区环东路2段32号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号