恭喜杭州士兰微电子股份有限公司汪建平获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州士兰微电子股份有限公司申请的专利惯性传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110058052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910261957.4，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权惯性传感器及其制造方法是由汪建平;邓登峰设计研发完成，并于2019-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本惯性传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种惯性传感器及其制造方法，包括：衬底；第一可动质量块，位于衬底上方；第二可动质量块，位于第一可动质量块上方；以及设置于第一可动质量块上的检测电极，该检测电极与第二可动质量块形成检测电容，在外界出现加速度时检测电容的电容变化差值是相同面积下的单层可动质量块的惯性传感器的电容变化差值的两倍，在不增加惯性传感器的面积的同时提高了惯性传感器的灵敏度。
本发明授权惯性传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种惯性传感器，包括：衬底；第一可动质量块，位于所述衬底上方；第二可动质量块，位于所述第一可动质量块上方；以及设置于所述第一可动质量块上的检测电极，所述检测电极与所述第二可动质量块形成检测电容，其中，所述惯性传感器还包括：第一锚点、第二锚点、沿第一方向延伸的至少一个第一弹性元件和第二弹性元件以及位于所述衬底上的布线层，其中所述第一弹性元件用于连接所述第一锚点和所述第一可动质量块，所述第二弹性元件用于连接所述第二锚点和所述第二可动质量块，所述第一锚点和所述第二锚点固定于所述布线层上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州士兰微电子股份有限公司，其通讯地址为：310012 浙江省杭州市黄姑山路4号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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