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恭喜珠海多创科技有限公司刘明获国家专利权

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龙图腾网恭喜珠海多创科技有限公司申请的专利一种TMR全桥磁传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110824392B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911013945.6,技术领域涉及:G01R33/09;该发明授权一种TMR全桥磁传感器及其制备方法是由刘明;胡忠强;周子尧;毛若皓;关蒙萌设计研发完成,并于2019-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种TMR全桥磁传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:TMR全桥磁传感器,包括:基片和设置于所述基片上的TMR单元,所述TMR单元包括自由层、钉扎层和隧道层,4组TMR单元桥式连接形成全桥结构,4组TMR单元分别位于全桥结构的4个桥臂上;所述TMR单元的长宽比不等于1,位于相邻桥臂上的TMR单元的长轴相互垂直,位于相对桥臂上的TMR单元的长轴相互平行。本发明根据TMR单元的长轴方向来布置全桥结构上的TMR单元,使相邻桥臂上的TMR单元的长轴方向互相垂直,相对桥臂上的TMR单元的长轴方向相互平行,从而通过在磁场退火时施加特定角度的外加磁场,得以一次性在单一芯片上形成全桥结构,大大降低了单一芯片全桥磁传感器制备工艺的难度和生产成本。

本发明授权一种TMR全桥磁传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.TMR全桥磁传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供基片;在所述基片上沉积TMR单元及电极,4组TMR单元桥式连接形成全桥结构,全桥结构的每一桥臂上设置一组TMR单元,相邻桥臂上的TMR单元的长轴相互垂直,相对桥臂上的TMR单元的长轴相互平行;对所述TMR单元进行磁场退火处理,退火时所施加的磁场方向和所述TMR单元的长轴方向成45°夹角,退火完成后,相邻桥臂上的TMR单元的钉扎层的磁矩方向不同,相对桥臂上的TMR单元的钉扎层的磁矩方向相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海多创科技有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路1号4栋5-B单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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