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恭喜株式会社迪思科川口吉洋获国家专利权

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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利晶片的扩展方法和晶片的扩展装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111128840B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911010540.7,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权晶片的扩展方法和晶片的扩展装置是由川口吉洋;中村胜设计研发完成,并于2019-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

晶片的扩展方法和晶片的扩展装置在说明书摘要公布了:提供晶片的扩展方法和晶片的扩展装置,将器件彼此的长边方向间隔和短边方向间隔均等地扩展。该方法将在由多条分割预定线划分的多个区域内分别形成有长方形的器件的晶片扩展,将相邻的器件间的间隔扩大,该方法包含:治具准备工序,准备具有椭圆开口部的环状治具,椭圆开口部具有:供器件的短边所排列的方向的露出粘接带粘贴而对露出粘接带的宽度进行限制的短轴部;和供器件的长边所排列的方向的露出粘接带粘贴的长轴部,其与短轴部相比将露出粘接带的宽度限制得较宽;和扩展工序,通过具有与晶片的外周对应的外周的圆筒状推压部件从粘接带侧推压晶片而使晶片远离环状框架,对晶片与环状框架之间的露出粘接带进行扩展,将相邻的器件间的间隔扩大。

本发明授权晶片的扩展方法和晶片的扩展装置在权利要求书中公布了:1.一种晶片的扩展方法,对在由多条分割预定线划分的多个区域内分别形成有长方形的器件的晶片进行扩展,将相邻的器件间的间隔扩大,其中,该晶片的扩展方法具有如下的工序:晶片准备工序,准备如下的晶片,该晶片借助粘接带而被支承于具有对晶片进行收纳的开口部的环状框架,并且多条分割预定线已被分割或在多条分割预定线上形成有分割起点;治具准备工序,准备具有椭圆开口部的环状治具,该椭圆开口部具有短轴部和长轴部,所述短轴部供器件的短边所排列的方向的晶片与该环状框架之间的露出粘接带粘贴而对该露出粘接带的宽度进行限制,所述长轴部供器件的长边所排列的方向的该露出粘接带粘贴从而与该短轴部相比将该露出粘接带的宽度限制得较宽;固定工序,将该环状框架载置于圆筒状框架固定件上并且将该环状治具载置于该环状框架上,从而将该环状框架和该环状治具固定于该圆筒状框架固定件;以及扩展工序,在实施了该固定工序之后,通过具有与晶片的外周对应的外周的圆筒状推压部件从该粘接带侧推压晶片而使晶片远离该环状框架,对处于晶片与该环状框架之间的该露出粘接带进行扩展,将相邻的器件间的间隔扩大,在该扩展工序中,当通过该圆筒状推压部件使晶片远离该环状框架时,器件的短边所排列的方向的该露出粘接带粘贴于该环状治具的该短轴部而对该短轴部的该露出粘接带的宽度进行限制,器件的长边所排列的方向的该露出粘接带粘贴于该环状治具的该长轴部从而与该短轴部相比将该长轴部的该露出粘接带的宽度限制得较宽,在对该露出粘接带进行扩展时,该短轴部与该露出粘接带面接触,在该固定工序中,在该圆筒状框架固定件的上部外周缘配备有多个夹具,该多个夹具将该环状框架和该环状治具固定于该圆筒状框架固定件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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