恭喜新应材股份有限公司杨子瑾获国家专利权
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龙图腾网恭喜新应材股份有限公司申请的专利移除方法、积层体、形成方法及聚酰亚胺树脂获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113219796B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010069273.7,技术领域涉及:G03F7/42;该发明授权移除方法、积层体、形成方法及聚酰亚胺树脂是由杨子瑾;林勇宇;赖积佑;钟明哲;张哲玮设计研发完成,并于2020-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本移除方法、积层体、形成方法及聚酰亚胺树脂在说明书摘要公布了:本发明提供一种可形成具有良好的剥离性的聚酰亚胺树脂、移除光致抗蚀剂的方法、层合板、形成金属图案的方法及剥离液。移除光致抗蚀剂的方法包括:于基板上形成离型层,离型层具有彼此相对的第一表面与第二表面,其中离型层的第一表面与基板接触;于离型层的第二表面上形成光致抗蚀剂层;以及移除离型层以及光致抗蚀剂层。离型层是由聚酰亚胺树脂所形成。聚酰亚胺树脂是由四羧酸二酐类、二胺类以及苯酚胺类进行聚合反应而获得。二胺类包括羟基氟化二胺类、苯甲酸二胺类以及氨基四甲基二硅氧烷类。
本发明授权移除方法、积层体、形成方法及聚酰亚胺树脂在权利要求书中公布了:1.一种移除光致抗蚀剂的方法,包括:于基板上形成离型层,所述离型层具有彼此相对的第一表面与第二表面,其中所述离型层的所述第一表面与所述基板接触;于所述离型层的所述第二表面上形成光致抗蚀剂层;以及移除所述离型层以及所述光致抗蚀剂层,其中所述离型层是由聚酰亚胺树脂所形成,所述聚酰亚胺树脂是由四羧酸二酐类、二胺类以及苯酚胺类进行聚合反应而获得,其中所述四羧酸二酐类包括双环[2.2.2]辛-7-烯-2,3,5,6-四羧酸二酐,所述二胺类包括羟基氟化二胺类、苯甲酸二胺类以及氨基四甲基二硅氧烷类,所述苯酚胺类包括3-胺苯酚。
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