恭喜天通日进精密技术有限公司卢建伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜天通日进精密技术有限公司申请的专利单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN108943458B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201710396229.5,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法是由卢建伟;李鑫设计研发完成,并于2017-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法,该单晶硅棒转运装置包括:换向载具;硅棒夹具,设于所述换向载具的硅棒夹具区;其中,所述换向载具被驱动作换向运动,所述换向载具上的硅棒夹具在换向运动中将单晶圆硅棒由上料工位转运至开方作业工位及或将单晶硅方体由开方作业工位转运至下料工位。如此,可实现工件的快速且便捷地转运,提高了工件的转运效率,另外,换向载具上的硅棒夹具具有单晶圆硅棒和单晶硅方体的双重夹持功能,在不增加结构复杂度的情形下可以省去夹具,增加其他结构的设计空间及降低成本。
本发明授权单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法在权利要求书中公布了:1.一种单晶硅棒转运装置,应用于单晶硅棒多线切割设备中,所述单晶硅棒多线切割设备具有上料工位、开方作业工位、以及下料工位,其特征在于,所述单晶硅棒转运装置包括:换向载具,所述换向载具是通过一换向机构来实现换向运动的,所述换向机构包括转动轴和换向电机;硅棒夹具,设于所述换向载具的硅棒夹具区,用于夹持竖立放置的单晶圆硅棒或单晶硅方体;所述硅棒夹具包括:硅棒夹具安装件,设于所述换向载具上;至少两个硅棒夹持件,沿着所述硅棒夹具安装件在竖向方向上间距设置;其中,在所述硅棒夹具中,至少两个硅棒夹持件中的至少一个硅棒夹持件设有导向驱动机构,用于驱动其沿着所述硅棒夹具安装件运动,以调节所述至少两个硅棒夹持件的间距;所述硅棒夹持件包括:夹臂安装座,设于所述夹具安装件上;两个夹臂,活动设于所述夹臂安装座上;所述夹臂上设有相对设置的两个夹齿;夹臂驱动机构,用于驱动所述两个夹臂作开合动作;其中,所述两个夹臂在所述夹臂驱动机构驱动下夹合时,所述两个夹臂上的夹齿夹持于单晶圆硅棒的柱面或者单晶硅方体的连接棱面;其中,所述换向载具被驱动作换向运动,所述换向载具上的硅棒夹具在换向运动中将单晶圆硅棒在竖立放置状态下由上料工位转运至开方作业工位及或将单晶硅方体在竖立放置状态下由开方作业工位转运至下料工位。
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