苏州正齐半导体设备有限公司曾腾能获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州正齐半导体设备有限公司申请的专利用于半导体器件放置的对准设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222581133U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420657632.4,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型用于半导体器件放置的对准设备是由曾腾能;林嘉贤;吴仁凯设计研发完成,并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体器件放置的对准设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种用于半导体器件放置的对准设备,该对准装置被配置为半导体器件例如管芯的伪单元或实际单元,由此,当将半导体器件放置在第二半导体器件载体703上时,预放置对准方法应通过具有至少一个数据处理装置来分析由对准装置103和对准销405上的多个成像装置所捕捉的图像,来确定对准装置103和第二成像装置301的参考点的位置。本实用新型还提出了用于执行所述方法的设备。
本实用新型用于半导体器件放置的对准设备在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体器件放置的对准设备(401),包括:具有至少一个拾取和放置尖端(105)的至少一个拾取和放置臂(601);具有至少一个第一成像装置(201)的至少一个第一目视检查站(603);至少一个任何合适的数据处理装置;至少一个第二目视检查站(605);至少一个第二成像装置(301),其被构造成当拾取和放置尖端(105)将至少一个半导体器件放置在至少一个第二半导体器件载体(703)时被使用;其特征在于,所述拾取和放置尖端(105)被构造成拾取或放置至少一个对准装置(103);其中所述第一成像装置(201)被构造成当所述拾取和放置尖端(105)正在保持所述对准装置(103)时捕捉所述对准装置(103)的至少一个第一图像(207);其中所述第一图像(207)描绘所述对准装置(103)的与由所述拾取和放置尖端(105)保持的一侧相反的一侧;所述第二成像装置(301)的参照点的经修正X-Y位置是基于:所述对准装置(103)相对于所述第一成像装置(201)的参照点(205)的X-Y位置、至少一个对准销(405)的顶部表面的位置、以及由所述拾取和放置尖端(105)保持的所述对准装置(103)相对于所述对准销(405)的一侧的位置的相互关系。
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