江西光腾微纳材料有限公司林腾光获国家专利权
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龙图腾网获悉江西光腾微纳材料有限公司申请的专利一种磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222574757U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420642197.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射设备是由林腾光;马小沐;张文禄设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射设备，属于磁控溅射技术领域，其技术方案要点是，包括溅射舱体，所述溅射舱体内设置有卷绕机构，所述溅射舱体内部位于所述卷绕机构的侧面设置有靶材组件，所述靶材组件包括有铜靶件，所述铜靶件上设置有弹簧杆，所述弹簧杆与所述溅射舱体连接，所述铜靶件上靠近所述弹簧杆的位置连接有拉绳件，所述拉绳件连接有电动推杆，所述电动推杆与所述溅射舱体连接。本实用新型能够精准实时地调节靶材与基底之间的距离，无需将溅射设备拆卸再调整，方便快速且有效的节约调节时间，提高镀膜效率。
本实用新型一种磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备，包括溅射舱体1，其特征在于：所述溅射舱体1内设置有卷绕机构2，所述溅射舱体1内部位于所述卷绕机构2的侧面设置有靶材组件3；所述靶材组件3包括有铜靶件31，所述铜靶件31上设置有弹簧杆32，所述弹簧杆32与所述溅射舱体1连接，所述铜靶件31的端部连接有拉绳件33，所述拉绳件33连接有电动推杆34，所述电动推杆34与所述溅射舱体1连接。
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