合肥晶合集成电路股份有限公司江向红获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种化学薄膜沉积机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222574778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420633098.3，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种化学薄膜沉积机台是由江向红;程杰须;杨军;朱瑶;朱人伟设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学薄膜沉积机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种化学薄膜沉积机台，包括：机台主体，其包括腔体；托盘，安装于所述腔体内，所述托盘中放置有晶圆；底座，安装于所述腔体内，位于所述托盘下方；以及至少三个气体喷嘴，所述气体喷嘴连接于进气管道上，所述进气管道安装于腔体上，所述气体喷嘴用以向晶圆的下表面喷入清洁气体。通过本实用新型提供的一种化学薄膜沉积机台，能够改善晶圆与底座之间的气垫效应。
本实用新型一种化学薄膜沉积机台在权利要求书中公布了：1.一种化学薄膜沉积机台，其特征在于，包括：机台主体，其包括腔体；托盘，安装于所述腔体内，所述托盘中放置有晶圆；底座，安装于所述腔体内，位于所述托盘下方；以及至少三个气体喷嘴，所述气体喷嘴连接于进气管道上，所述进气管道安装于腔体上，所述气体喷嘴用以向晶圆的下表面喷入清洁气体。
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