苏州亿嘉新材料科技有限公司刘静获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州亿嘉新材料科技有限公司申请的专利一种稳定抓取防划伤的晶圆搬运手臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222570815U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420602133.5，技术领域涉及：B25J18/00；该实用新型一种稳定抓取防划伤的晶圆搬运手臂是由刘静;陈星宇设计研发完成，并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种稳定抓取防划伤的晶圆搬运手臂在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种稳定抓取防划伤的晶圆搬运手臂，涉及晶圆加工技术领域，包括安装悬臂和抓取组件，所述安装悬臂后端中部开设有安装通孔，且安装悬臂前端设置有防护盘，所述防护盘上端设置有抓取组件，且抓取组件包括搬运盘、活动连接板、抽气泵、吸气嘴、楔形网、气动杆、夹持环和限位槽，所述搬运盘下端安装有活动连接板，且搬运盘上端安装有抽气泵，并且抽气泵前端连接有吸气嘴，同时吸气嘴前端增设有楔形网。该稳定抓取防划伤的晶圆搬运手臂，通过抓取组件的设置，避免多数搬运手臂易于晶圆之间产生较大的摩擦力导致晶圆表面易出现划痕，进而影响晶圆的后续加工的问题出现，便于提高搬运手臂整体实用性。
本实用新型一种稳定抓取防划伤的晶圆搬运手臂在权利要求书中公布了：1.一种稳定抓取防划伤的晶圆搬运手臂，包括安装悬臂1和抓取组件4，其特征在于，所述安装悬臂1后端中部开设有安装通孔2，且安装悬臂1前端设置有防护盘3，所述防护盘3上端设置有抓取组件4，且抓取组件4包括搬运盘401、活动连接板402、抽气泵403、吸气嘴404、楔形网405、气动杆406、夹持环407和限位槽408，所述搬运盘401下端安装有活动连接板402，且搬运盘401上端安装有抽气泵403，并且抽气泵403前端连接有吸气嘴404，同时吸气嘴404前端增设有楔形网405，所述搬运盘401内部安装有气动杆406，且气动杆406前端下方安装有夹持环407，所述搬运盘401前端开设有限位槽408，所述安装悬臂1上端设置有搬运组件5。
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