江苏凯嘉电子科技有限公司李飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏凯嘉电子科技有限公司申请的专利一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118231388B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410351786.5,技术领域涉及:H01L23/552;该发明授权一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构是由李飞;张弛;刘涛设计研发完成,并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片封装技术领域,具体为一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构,包括:晶圆底板,晶圆底板内设置有晶圆芯片,晶圆芯片正面设置有锡球,晶圆芯片的背面设置有绝缘膜,绝缘膜的背面贴合有氧化硅层,氧化硅层的背面设置有屏蔽层;加强层包括筋网层和加固层加固层的背面贴合有加厚层,加厚层与屏蔽层的正面贴合;有益效果为:通过在晶圆底板的背面设置有绝缘膜,绝缘膜背面设置有氧化硅层,氧化硅层背面设置有屏蔽层,屏蔽层对整个晶圆形成覆盖屏蔽,减少封装中的杂散和辐射,屏蔽层由金属电镀制成,通过控制电镀厚度,可在屏蔽层背面形成凹陷部,以提高后续塑封时的封装强度和稳定性。
本发明授权一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构在权利要求书中公布了:1.一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构,其特征在于:所述EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构包括:晶圆底板(1),所述晶圆底板(1)内设置有晶圆芯片(2),所述晶圆芯片(2)正面设置有锡球(11),所述晶圆芯片(2)的背面设置有绝缘膜(3),所述绝缘膜(3)的背面贴合有氧化硅层(4),所述氧化硅层(4)的背面设置有屏蔽层(5),且屏蔽层(5)与氧化硅层(4)之间设置有加强层;所述加强层包括筋网层(6)和加固层(7),且筋网层(6)和加固层(7)均贴合氧化硅层(4)的背面,所述加固层(7)的背面贴合有加厚层(8),所述加厚层(8)与屏蔽层(5)的正面贴合;所述屏蔽层(5)的正面设置有凸起部(51),所述凸起部(51)与加厚层(8)保持同一平面,且凸起部(51)的正面贴合筋网层(6)的背面;所述屏蔽层(5)的背面向内凹陷形成凹陷部(52),所述凹陷部(52)与凸起部(51)对应;所述加固层(7)设置有多个并呈矩形阵列分布,所述加固层(7)位于筋网层(6)的网格中,所述加厚层(8)设置有多个并与多个加固层(7)一一对应。
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