上海积塔半导体有限公司孙德富获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利晶圆背面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222581107U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420606886.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆背面清洗装置是由孙德富;徐择君;赖锦平;刘纵曙设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆背面清洗装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种晶圆背面清洗装置，包括用于对放置晶圆并对晶圆背面进行湿法清洗的主机台，以及用于检测晶圆背面清洗酸液浓度的浓度计，浓度计外置于主机台，其中：浓度计的第一接口与厂务酸排气管连接；浓度计的第二接口与漏液排液管连接；漏液排液管与厂务排液管连接；漏液排液管靠近第二接口的一端设置有可开合的阀门，用于阻隔厂务排液管中的酸性气体通过漏液排液管回流至浓度计。通过本公开提供的技术方案，在漏液排液管中额外设置了阀门结构以及弯管结构，通过阀门结构的常闭设计能够有效隔绝厂务排液管中的酸性气体回流，能够保证外置浓度计始终处于一个稳定、干燥的工作环境。
本实用新型晶圆背面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背面清洗装置，其特征在于，包括用于对放置晶圆并对晶圆背面进行湿法清洗的主机台，以及用于检测晶圆背面清洗酸液浓度的浓度计，所述浓度计外置于所述主机台，其中：所述浓度计的第一接口与厂务酸排气管连接；所述浓度计的第二接口与漏液排液管连接；所述漏液排液管与厂务排液管连接；以及所述漏液排液管靠近所述第二接口的一端设置有可开合的阀门，用于阻隔所述厂务排液管中的酸性气体通过所述漏液排液管回流至所述浓度计。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号