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恭喜江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网恭喜江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种显影液稀释系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222567386U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420577734.5,技术领域涉及:B01F23/43;该实用新型一种显影液稀释系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种显影液稀释系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种显影液稀释系统。其包括:原液桶;稀释桶;混合桶,其用于存放所述显影液原液与去离子水的混合液,其上分别设有和原液桶连通的第一入口、和稀释桶连通的第二入口、循环口和设置在混合桶底部的排液口;液体循环管路,一端与排液口连通,另一端与循环口连通;储液桶;液体循环管路上设有浓度检测器;储液桶和液体循环管路之间设有第一开关阀,液体循环管路上还设有第二开关阀;当浓度检测器检测到液体循环管路内流过的混合液处于预设浓度范围之内时,第二开关阀关闭,第一开关阀开启,浓度处于预设浓度范围内的混合液自混合桶流入储液桶。本实用新型中的显影液稀释系统,有效提高了混合的均匀性,也极大地提高了混合效率。

本实用新型一种显影液稀释系统在权利要求书中公布了:1.一种显影液稀释系统,其特征在于,包括:原液桶,其存放有或用于存放显影液原液;稀释桶,其存放有或用于存放去离子水;混合桶,其用于存放所述显影液原液与去离子水的混合液,其上分别设有和所述原液桶连通的第一入口、和所述稀释桶连通的第二入口、循环口和设置在所述混合桶底部的排液口;液体循环管路,所述液体循环管路的一端与所述排液口连通,另一端与所述循环口连通,所述混合桶内的混合液通过所述液体循环管路循环;储液桶,其和所述液体循环管路连通,所述储液桶用于存放处于预设浓度范围内的混合液;其中,所述液体循环管路上设有浓度检测器,所述浓度检测器用于检测所述混合桶内混合液的浓度;所述储液桶和所述液体循环管路之间设有第一开关阀,所述液体循环管路上还设有第二开关阀;当所述浓度检测器检测到所述液体循环管路内流过的混合液处于预设浓度范围之内时,所述第二开关阀关闭,所述第一开关阀开启,浓度处于预设浓度范围内的混合液自所述混合桶流入所述储液桶。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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