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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利微动电机、致动模组及光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222582262U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420575804.3，技术领域涉及：H02K41/02；该实用新型微动电机、致动模组及光刻设备是由施艳春设计研发完成，并于2024-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本微动电机、致动模组及光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种微动电机、致动模组及光刻设备，微动电机包括第一导磁体、第二导磁体、设置在第一导磁体和第二导磁体之间的线圈、设置在第一导磁体和线圈之间的第一磁模块，设置在第二导磁体和线圈之间的第二磁模块，第一磁模块包括沿X方向依次排布的多块第一磁铁，第二磁模块包括与第一磁铁一一对应的多块第二磁铁。本实用新型通过将磁组件中的第一磁铁的充磁方向和线圈的轴向呈夹角，以及配置近端磁组件和远端磁组件各自的第一磁铁的充磁方向与中部磁铁的充磁方向的关系，可以改变微动电机内部的磁路方向，使磁力线聚集在线圈的发力体的有效出力部分，增强线圈所在区域的磁场强度，从而增强微动电机的功率密度，降低微动电机外部的漏磁。

本实用新型微动电机、致动模组及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种微动电机，其特征在于，包括：第一导磁体；第二导磁体；设置在所述第一导磁体和所述第二导磁体之间的线圈；设置在所述第一导磁体和所述线圈之间的第一磁模块，所述第一磁模块包括沿X方向依次排布的多块第一磁铁，所述第一磁铁的数目为奇数，位于中部位置的所述第一磁铁为中部磁铁，其余的所述第一磁铁中关于所述中部磁铁对称的两块所述第一磁铁为一组磁组件，所述磁组件的两块第一磁铁各自的充磁方向关于所述X方向对称，所述磁组件的第一磁铁的充磁方向与Y方向具有夹角，所述中部磁铁的充磁方向平行所述X方向；所述Y方向平行所述线圈的轴向，所述X方向垂直所述Y方向；设置在所述第二导磁体和所述线圈之间的第二磁模块，所述第二磁模块包括多块第二磁铁，多块所述第二磁铁和多块所述第一磁铁在所述Y方向上一一对应，且相对应的第二磁铁和第一磁铁各自的充磁方向关于所述Y方向对称；其中，所述磁组件为至少两组，分别是至少一组远端磁组件和相对所述远端磁组件更靠近所述中部磁铁的至少一组近端磁组件；所述近端磁组件中的第一磁铁的充磁方向在所述X方向上的分量与所述中部磁铁的充磁方向同向，所述远端磁组件中的第一磁铁的充磁方向在所述X方向上的分量与所述中部磁铁的充磁方向相反。

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