恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司沈健超获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利离子真空计获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222579481U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420555968.X,技术领域涉及:G01L21/32;该实用新型离子真空计是由沈健超;李强设计研发完成,并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子真空计在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种离子真空计。其中,所述离子真空计包括:离子真空计本体和防护装置;离子真空计本体包括测量组件和壳体;壳体具有一内腔,测量组件容置于内腔中,且壳体还具有一接口,待测气体可经接口进入内腔,并经测量组件检测;防护装置包括防护罩;防护罩套设于接口的表面,且防护罩的表面分布有多个运动叶片,以至少阻挡部分待测气体中的污染颗粒进入内腔。可见,在所述防护装置的加设下,可以有效缓解污染颗粒对离子真空计正常运行的不良影响,利于延长器件使用寿命。且仅需定期清洁防护装置,即可确保所述防护装置对离子真空计本体的可持续防护,降低离子真空计的故障率,从而减少对离子真空计的更换,降低工艺制备成本。
本实用新型离子真空计在权利要求书中公布了:1.一种离子真空计,其特征在于,包括:离子真空计本体和防护装置;所述离子真空计本体包括测量组件和壳体;所述壳体具有一内腔,所述测量组件容置于所述内腔中,且所述壳体还具有一接口,待测气体可经所述接口进入所述内腔,并经所述测量组件检测;所述防护装置包括防护罩;所述防护罩套设于所述接口的表面,且所述防护罩的表面分布有多个运动叶片,以至少阻挡部分所述待测气体中的污染颗粒进入所述内腔。
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