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龙图腾网恭喜诚鑫茂(深圳)电子有限公司申请的专利一种单工位晶圆减薄机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222570142U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420529763.4，技术领域涉及：B24B7/22；该实用新型一种单工位晶圆减薄机是由王郁华;谢剑锋设计研发完成，并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单工位晶圆减薄机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种单工位晶圆减薄机，涉及晶圆减薄机领域，包括：顶板，所述顶板底部的四角均固定安装有支撑杆，所述支撑杆底部均固定安装在工作台的顶部的四角，所述工作台顶部的中部固定安装有固定台，所述固定台顶部的腔内安装有定位真空吸盘，所述工作台腔内的顶部固定安装有打磨电机，且打磨电机的输出端与固定台连接；所述工作台顶部的两端对应开设有安装口，所述工作台顶部的外侧设有挡水环，所述顶板的底部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定安装有打磨块。通过利用清理机构及时对晶圆减薄机内进行清理，将晶圆减薄机打磨下来的废料清理掉，防止废料落在后续待打磨的晶圆上，从而影响后续晶圆打磨后表面的光滑度。

本实用新型一种单工位晶圆减薄机在权利要求书中公布了：1.一种单工位晶圆减薄机，其特征在于，包括：顶板1，所述顶板1底部的四角均固定安装有支撑杆2，所述支撑杆2底部均固定安装在工作台3的顶部的四角，所述工作台3顶部的中部固定安装有固定台4，所述固定台4顶部的腔内安装有定位真空吸盘5，且定位真空吸盘5的顶部与固定台4顶部齐平，所述工作台3腔内的顶部固定安装有打磨电机6，且打磨电机6的输出端与固定台4连接；所述工作台3顶部的两端对应开设有安装口7，所述工作台3顶部的外侧设有挡水环8，所述顶板1的底部固定安装有电动伸缩杆9，所述电动伸缩杆9的底部固定安装有打磨块10，所述打磨块10与固定台4上下对齐；所述工作台3腔内设有清理机构，利用清理机构将晶圆减薄机打磨产生的废料清理；所述工作台3的下方设有减震机构，利用减震机构对工作的晶圆减薄机进行减震，防止震动影响晶圆减薄机的工作。

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