恭喜山西中科潞安紫外光电科技有限公司王子都获国家专利权
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龙图腾网恭喜山西中科潞安紫外光电科技有限公司申请的专利一种用于MOCVD设备的升降装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222574783U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420458579.5,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种用于MOCVD设备的升降装置是由王子都;李辉设计研发完成,并于2024-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于MOCVD设备的升降装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的升降装置,包括反应室,内设置有石墨盘;上盖,设置在反应室上方并与反应室的开口适配;第一升降机构,与石墨盘相连;第一升降机构包括第一电机,在第一平面内旋转并提供升降动力;第一传动组件,分别与第一电机和石墨盘相连,将第一电机的旋转转化为与第一平面垂直方向的轴向运动,带动石墨盘升降以改变石墨盘的受热;第二升降机构,与上盖相连;第二升降机构包括第二电机,在第一平面内旋转并提供升降动力;第二传动组件,分别与第二电机和上盖相连,将第二电机的旋转转化为与第一平面垂直方向的轴向运动,带动上盖升降。本实用新型通过在反应室形成稳定的实验环境,保证芯片的精度和质量。
本实用新型一种用于MOCVD设备的升降装置在权利要求书中公布了:1.一种用于MOCVD设备的升降装置,其特征在于,包括:反应室,所述反应室内设置有石墨盘;上盖,设置在所述反应室上方,并与所述反应室的开口适配;第一升降机构,与所述石墨盘相连以带动所述石墨盘沿靠近或远离加热片的方向移动,所述第一升降机构包括,第一电机,在第一平面内旋转并提供升降动力;第一传动组件,分别与所述第一电机和石墨盘相连,将第一电机的旋转转化为与第一平面垂直方向的轴向运动,带动石墨盘升降以改变石墨盘的受热;第二升降机构,与所述上盖相连以带动所述上盖沿靠近或远离反应室的方向移动,所述第二升降机构包括,第二电机,在第一平面内旋转并提供升降动力;第二传动组件,分别与所述第二电机和上盖相连,将第二电机的旋转转化为与第一平面垂直方向的轴向运动,带动上盖升降。
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