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龙图腾网恭喜苏州佳智彩光电科技有限公司申请的专利一种晶圆边缘检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222581098U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420448728.X，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种晶圆边缘检测装置是由王涛;张浩;李伟;刘智超设计研发完成，并于2024-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆边缘检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆边缘检测装置，包括支撑座，其包括支撑平台；缓存单元，其包括支撑架、第一驱动件以及多个支撑件，所述支撑架设置于所述支撑平台，多个所述支撑件设置于所述支撑架，所述第一驱动件用于驱动所述支撑架沿高度方向运动，待检测晶圆能够置放于所述支撑件上；旋转单元，其包括底座、夹持组件、升降杆以及第二驱动件，所述底座设置于所述支撑平台，所述底座中心设有通孔，所述第二驱动件用于驱动所述底座转动，检测相机单元，所述检测相机单元用于对所述待检测晶圆进行图像采集。本实用新型能够实现对待检测晶圆边缘的全面检测，有效提高检测精度，从而确保检测结果的全面性和准确性。

本实用新型一种晶圆边缘检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘检测装置，其特征在于：包括，支撑座，其包括支撑平台；缓存单元，其包括支撑架、第一驱动件以及多个支撑件，所述支撑架设置于所述支撑平台，多个所述支撑件设置于所述支撑架，所述第一驱动件用于驱动所述支撑架沿高度方向运动，待检测晶圆能够置放于所述支撑件上；旋转单元，其包括底座、夹持组件、升降杆以及第二驱动件，所述底座设置于所述支撑平台，所述底座中心设有通孔，所述升降杆穿设于所述通孔，所述第二驱动件用于驱动所述底座转动，所述升降杆还与所述第一驱动件相连、在所述第一驱动件的带动下沿高度方向运动，所述夹持组件包括多个活动夹爪，多个所述活动夹爪以所述升降杆的轴心为中心呈放射状设置，且所述活动夹爪滑动设置于所述底座，所述活动夹爪的延伸方向与所述升降杆的径向方向同向，所述活动夹爪靠近所述升降杆的一端设有滚动件，所述升降杆与所述滚动件的接触面为斜面，所述滚动件与升降杆滑动接触，所述待检测晶圆在所述夹持组件的带动下转动；检测相机单元，其包括多个相机，多个所述相机朝向所述待检测晶圆设置，所述检测相机单元用于对所述待检测晶圆进行图像采集。

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