恭喜滁州亿晶光电科技有限公司程飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜滁州亿晶光电科技有限公司申请的专利一种IV设备测量时增加精度装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222581097U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420446138.3,技术领域涉及:H01L21/66;该实用新型一种IV设备测量时增加精度装置是由程飞;高翔;徐明靖设计研发完成,并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种IV设备测量时增加精度装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种IV设备测量时增加精度装置,包括供气机构;水平喷头和倾斜喷头,均设置于供气机构的供气端;背光板,设置于水平喷头和倾斜喷头喷气端,以完成降低杂质反光动作;当清理小标片表面杂质时,所述供气机构为水平喷头和倾斜喷头供气,所述水平喷头和倾斜喷头从两个方向吹扫杂质,以完成清理动作,由于有水平喷头和倾斜喷头的双重作用,可以从两个方向同时吹扫杂质,这既可以把杂质从小标片表面吹离,又可以将悬浮的杂质推出小标片表面。这样,不仅可以提高清理的效率,也可以提高清理的效果,从而降低杂质对IV小标片造成损伤。
本实用新型一种IV设备测量时增加精度装置在权利要求书中公布了:1.一种IV设备测量时增加精度装置,其特征在于,包括:供气机构100;水平喷头200和倾斜喷头300,均设置于供气机构100的供气端;背光板400,设置于水平喷头200和倾斜喷头300喷气端,以完成降低杂质反光动作;当清理小标片表面杂质时,所述供气机构100为水平喷头200和倾斜喷头300供气,所述水平喷头200和倾斜喷头300从两个方向吹扫杂质,以完成清理动作。
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