恭喜倍特微半导体科技(江苏)有限公司魏刚获国家专利权
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龙图腾网恭喜倍特微半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种用于硅片腐蚀机的转动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222581141U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420412219.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种用于硅片腐蚀机的转动装置是由魏刚;杨志华设计研发完成，并于2024-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于硅片腐蚀机的转动装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于硅片腐蚀机的转动装置，包括设备主体，设备主体的内部开设有处理腔，设备主体的上方设置有安装板，安装板的下方设置有置物架，安装板和置物架之间设置有转动组件，置物架的内部通过固定组件安装有置物盒，置物盒的一侧固定安装有把手，置物盒的内壁设置有硅片；转动组件包括固定安装在置物架顶端的转动轴，转动轴的顶端固定连接有电机，电机设置在安装板的内部，通过转动组件的设置，在需要对硅片进行处理时，可以通过外部电源启动电机，转动轴的转动带动置物架的转动，置物架的转动通过固定组件带动置物盒转动，使硅片在处理腔的内部中转动，并与处理腔内部的处理液充分接触，提高了对硅片的处理效果。
本实用新型一种用于硅片腐蚀机的转动装置在权利要求书中公布了：1.一种用于硅片腐蚀机的转动装置，包括设备主体1，其特征在于：包括设备主体1，所述设备主体1的内部开设有处理腔16，所述设备主体1的上方设置有安装板8，所述安装板8的下方设置有置物架5，所述安装板8和置物架5之间设置有转动组件，所述置物架5的内部通过固定组件安装有置物盒3，所述置物盒3的一侧固定安装有把手4，所述置物盒3的内壁设置有硅片2；其中，所述转动组件包括固定安装在置物架5顶端的转动轴6，所述转动轴6的顶端固定连接有电机7，所述电机7设置在安装板8的内部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人倍特微半导体科技(江苏)有限公司，其通讯地址为：214142 江苏省无锡市新吴区新锦路18号2幢1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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