恭喜湖南金岭机床科技集团有限公司;广东派勒智能纳米科技股份有限公司郭胜安获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖南金岭机床科技集团有限公司;广东派勒智能纳米科技股份有限公司申请的专利一种半导体衬底精密抛光机的水箱系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222570409U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420399007.4，技术领域涉及：B24B57/00；该实用新型一种半导体衬底精密抛光机的水箱系统是由郭胜安;雷立猛;赖任延;喻明清设计研发完成，并于2024-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体衬底精密抛光机的水箱系统在说明书摘要公布了：一种半导体衬底精密抛光机的水箱系统，能够分离半导体衬底精密抛光机在工作过程中产生的不同种类物质，可过滤液体中固废再集中处理排放，对研磨过程中研磨液、抛光液等回收利用，防止研磨液、抛光液沉淀，并且结构紧凑、占地面积小。电动水泵、搅拌部件、过滤槽均安装固定在水箱箱体的箱盖上，过滤槽的横截面为长方形，其底部和四周设有过滤网，过滤槽对准半导体衬底精密抛光机的液体排出管道，排出的物质通过过滤槽的过滤网滤掉杂质进入水箱箱体内，通过电动水泵将水箱箱体内的物质抽出，经过水管到半导体衬底精密抛光机需要该介质的位置处，搅拌部件通过电机驱动叶轮来对水箱箱体内液体物质进行搅拌，水箱箱体具有常闭盖子。
本实用新型一种半导体衬底精密抛光机的水箱系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体衬底精密抛光机的水箱系统，其特征在于：其安装在半导体衬底精密抛光机的液体排出管道6的下方，且包括：电动水泵1、搅拌部件2、过滤槽3、水箱箱体4；电动水泵、搅拌部件、过滤槽均安装固定在水箱箱体的箱盖上，过滤槽的横截面为长方形，其底部和四周设有过滤网31，过滤槽对准半导体衬底精密抛光机的液体排出管道，排出的物质通过过滤槽的过滤网滤掉杂质进入水箱箱体内，通过电动水泵将水箱箱体内的物质抽出，经过水管到半导体衬底精密抛光机需要该介质的位置处，搅拌部件通过电机驱动叶轮来对水箱箱体内液体物质进行搅拌，水箱箱体具有常闭盖子。
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