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龙图腾网恭喜北京七星华创集成电路装备有限公司申请的专利校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222581131U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420214092.2，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型校准装置是由张宏宇;蔡勇;田永安设计研发完成，并于2024-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种应用于半导体设备的机械手的校准装置，其包括校准工件及校准台，校准工件上设有第一定位部、校准部和高度定位面，第一定位部用于与机械手的第一配合部定位配合，此时的校准工件的中心与机械手的中心同轴；校准台上设有连接部和第二定位部，连接部与校准部可在拆卸状态和连接状态之间切换；在拆卸状态时，校准部与校准模块配合或脱离配合；在连接状态时，第二定位部与装载口的第二配合部可拆卸连接，且高度定位面与校准台的底面之间的距离为预设距离。利用该校准装置对机械手的校准工位或装卸工位进行校准的过程中，无需工作人员反复操控机械手来调整晶圆至其中心与校准模块的中心或装载口的中心同心，校准效率高。

本实用新型校准装置在权利要求书中公布了：1.一种校准装置，应用于半导体设备的机械手，其特征在于，包括：校准工件，所述校准工件上设有第一定位部、校准部和高度定位面，所述第一定位部用于与所述机械手的第一配合部定位配合，在所述第一定位部与所述第一配合部定位配合时，所述校准工件的中心与所述机械手的中心同轴；以及校准台，所述校准台上设有连接部和第二定位部，所述连接部与所述校准部可在拆卸状态和连接状态之间切换；在所述拆卸状态时，所述校准部被配置成为与校准模块能够配合或脱离配合；在所述校准部与所述校准模块配合时，所述校准工件的中心轴线与所述校准模块的中心轴线重合；在所述连接状态时，所述校准工件的中心轴线与所述校准台的中心轴线重合，所述第二定位部被配置成为可与装载口的第二配合部可拆卸连接，且所述高度定位面与所述校准台的底面之间的距离为预设距离，所述预设距离为所述半导体设备的片盒上其中一个片槽的槽底壁与所述片盒的盒底板的底面之间的距离。

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