恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司程刚获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222580400U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420167574.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型曝光设备是由程刚;杨保平;王中亮设计研发完成，并于2024-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种曝光设备，包括：硅片；曝光装置，所述曝光装置用于对所述硅片进行曝光；掩膜板，所述掩膜板设置于所述曝光装置和所述硅片之间，所述掩膜板和所述硅片之间设置有间隙；对位装置，所述掩膜板与所述对位装置相连接，所述对位装置驱动所述掩膜板上下移动；气体喷射装置，所述气体喷射装置与所述对位装置相连接，用于在曝光结束后向所述间隙喷射气体。其中，气体喷射装置在曝光完毕后向硅片和掩膜板之间的间隙喷射气体，以消除掩膜板快速抬升导致其与硅片间形成的负压状态，避免硅片移动甚至破碎。
本实用新型曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种曝光设备，其特征在于，包括：硅片（11）；曝光装置，所述曝光装置用于对所述硅片（11）进行曝光；掩膜板（12），所述掩膜板（12）设置于所述曝光装置和所述硅片（11）之间，所述掩膜板（12）和所述硅片（11）之间设置有间隙；对位装置（13），所述掩膜板（12）与所述对位装置（13）相连接，所述对位装置（13）驱动所述掩膜板（12）上下移动；气体喷射装置，所述气体喷射装置与所述对位装置（13）相连接，用于在曝光结束后向所述间隙喷射气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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