恭喜深圳光峰科技股份有限公司赵家琦获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳光峰科技股份有限公司申请的专利光栅制备装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222580280U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420087520.X，技术领域涉及：G02B5/18；该实用新型光栅制备装置是由赵家琦;王珊;李屹设计研发完成，并于2024-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本光栅制备装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光栅制备装置，涉及光学技术领域，包括：光源模块，光源模块用于出射准直光束；光栅掩膜，设置在准直光束的输出方向上，光栅掩膜用于使入射于其上的准直光束发生衍射，形成用于出射至基板上的0级衍射光束、正1级衍射光束以及负1级衍射光束，并在基板上形成两种不同图案化的干涉曝光场，以在基板上叠加形成具有齿状凹陷的光栅结构。光栅掩膜基于垂直入射的准直光束衍射形成0级衍射光束、正1级衍射光束以及负1级衍射光束，三束衍射光束在基板上相互干涉形成两种不同图案化的干涉曝光场在基板上叠加时易于得到具有齿状凹陷的光栅结构，提升了光栅制备的工艺精度，并降低了光栅制备的工艺复杂度。
本实用新型光栅制备装置在权利要求书中公布了：1.一种光栅制备装置，其特征在于，所述光栅制备装置包括：光源模块，所述光源模块用于出射准直光束；光栅掩膜，设置在所述准直光束的输出方向上，所述光栅掩膜用于使入射于其上的所述准直光束发生衍射，形成0级衍射光束、正1级衍射光束以及负1级衍射光束，所述0级衍射光束、所述正1级衍射光束以及所述负1级衍射光束用于出射至基板上，并在所述基板上形成两种不同图案化的干涉曝光场，以在所述基板上叠加形成具有齿状凹陷的光栅结构。
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