恭喜南京工程学院黄亚洲获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京工程学院申请的专利原子层沉积的反应残余物处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222567260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323632664.3，技术领域涉及：B01D53/00；该实用新型原子层沉积的反应残余物处理装置是由黄亚洲;谷蓝翔;吕俊彦;陶俊杰设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子层沉积的反应残余物处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型实施例公开了一种原子层沉积的反应残余物处理装置，涉及微纳米制造技术领域，本方案中的装置的组成部分包括：金属源和硫化氢源连接反应腔体，反应腔体上安装有PT压力表；反应腔体的输出通过多线路系统进行处理，各个处理线路各自通过输气管连接反应腔体。本方案针对原子层沉积的反应残余物，经过双处理线路进行绿色回收处理，避免了环境污染，同时能量回收利用，实现节能目的且处理线路的实现方式的相对简单，也便于大规模、产业化生产应用。
本实用新型原子层沉积的反应残余物处理装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积的反应残余物处理装置，其特征在于，所述装置的组成部分包括：金属源24通过气动阀V123连接反应腔体2，硫化氢源21通过气动阀V220连接反应腔体2，反应腔体2上安装有PT压力表1；反应腔体2的输出通过双线路系统进行处理，所述双线路系统的输气线路由处理线路Ⅰ和处理线路Ⅱ组成，处理线路Ⅰ和处理线路Ⅱ各自通过输气管连接反应腔体2；双线路系统的模式包括至少两种，在双线路系统的第一种模式中，处理线路Ⅰ中各装置的串联顺序为：冷凝吸收装置、溶解吸收装置、干燥装置和储气装置；处理线路Ⅱ中各装置的串联顺序为：溶解吸收装置、干燥装置和储气装置；在双线路系统的第二种模式中，处理线路Ⅰ中串联有两个冷凝吸收装置；处理线路Ⅱ中各装置的串联顺序为：燃烧室、氧化吸收装置和溶液吸收装置。
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