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恭喜武汉新芯集成电路股份有限公司王帆获国家专利权

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龙图腾网恭喜武汉新芯集成电路股份有限公司申请的专利测试结构及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115831932B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211650830.X,技术领域涉及:H01L23/544;该发明授权测试结构及测试方法是由王帆;方明海;刘棋;吴龙;陈畅;张骏设计研发完成,并于2022-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

测试结构及测试方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种测试结构及测试方法,所述测试结构包括:衬底;器件结构,形成于衬底上;第一金属互连线、第二金属互连线和第一焊盘,第一金属互连线与器件结构电连接,所述第二金属互连线与所述第一焊盘电连接,第一金属互连线与第二金属互连线之间断开;电迁移金属线,电迁移金属线位于第一金属互连线与第二金属互连线之间,以使得电迁移金属线在发生电迁移时,电迁移金属线分别与第一金属互连线和第二金属互连线电连接。本发明的技术方案能够在有效避免游离的正电荷和负电荷对器件结构造成损伤的同时,还能使得测试能够正常进行。

本发明授权测试结构及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种测试结构,其特征在于,包括:衬底;器件结构,形成于所述衬底上;第一金属互连线、第二金属互连线和第一焊盘,所述第一金属互连线与所述器件结构电连接,所述第二金属互连线与所述第一焊盘电连接,所述第一金属互连线与所述第二金属互连线之间断开,使得执行生产工艺产生的游离的正电荷和负电荷未通过所述第二金属互连线导入所述第一金属互连线中,进而未导向所述器件结构中;电迁移金属线,所述电迁移金属线位于所述第一金属互连线与所述第二金属互连线之间,以使得所述电迁移金属线在发生电迁移时,所述电迁移金属线分别与所述第一金属互连线和所述第二金属互连线电连接,进而使得能够通过所述第一焊盘对所述器件结构施加电压后进行测试;第三金属互连线、第二焊盘和第三焊盘,所述电迁移金属线的两端分别通过所述第三金属互连线与所述第二焊盘和所述第三焊盘电连接,使得通过所述第二焊盘和所述第三焊盘向所述电迁移金属线施加电流后发生电迁移。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人武汉新芯集成电路股份有限公司,其通讯地址为:430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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