恭喜英利能源发展有限公司;英利能源发展(天津)有限公司夏新中获国家专利权
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龙图腾网恭喜英利能源发展有限公司;英利能源发展(天津)有限公司申请的专利一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115497856B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211197604.0,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置是由夏新中;孟庆超;王红芳;潘明翠;翟金叶;郎芳设计研发完成,并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置,属于半导体器件技术领域。本发明提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置,包括载片舟及沉积炉,载片舟包括舟体,舟体上设置有多组插片槽,插片槽的宽度大于硅片的厚度;沉积炉包括炉管主体、旋转组件以及驱动件,旋转组件包括转轴和用于支撑固定舟体的底托,转轴与炉管主体转动连接,转轴沿竖直方向贯穿炉管主体的底部,底托设置在转轴顶部,驱动件驱动转轴转动。本发明提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置,硅片插入插片槽中,硅片背面贴紧插片槽远离舟体中心一侧的舟壁上,载片舟设置在底托上,转轴转动,利用离心力将硅片紧贴在舟壁上,避免绕扩或绕镀的发生,提升了生产效率。
本发明授权一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置在权利要求书中公布了:1.一种消除太阳能电池绕扩、绕镀的装置,其特征在于,包括:载片舟,所述载片舟用于盛载硅片,所述载片舟包括舟体,所述舟体上设置有插片槽组,所述插片槽组包括多组适于硅片插入的插片槽,所述插片槽平行于所述舟体的轴线设置,所述插片槽的宽度大于硅片的厚度;以及沉积炉,用于装载所述载片舟,所述沉积炉包括炉管主体、旋转组件以及驱动件,所述炉管主体内部设置有反应腔,所述炉管主体的底部设有进气口,所述炉管主体的顶部设有出气口,所述旋转组件包括转轴和底托,所述转轴与所述炉管主体转动连接,所述转轴沿竖直方向贯穿所述炉管主体的底部并延伸至所述反应腔内部,所述底托固定安装在所述转轴的顶部,所述底托用于支撑固定所述舟体,所述驱动件用于驱动所述转轴转动;其中,硅片插入所述插片槽时,硅片的背面贴在所述插片槽远离所述舟体中心一侧的舟壁上,所述转轴带动所述底托以及所述舟体转动,硅片在离心力的作用下紧贴在所述舟体的舟壁上,硅片的正面与所述插片槽靠近所述舟体中心一侧的舟壁之间存在空隙,硅片的正面与气流进行反应,硅片背面不会与气流接触,避免绕扩或绕镀的发生。
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