恭喜拓荆科技(北京)有限公司张亚新获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技(北京)有限公司申请的专利静电吸盘安装拆卸工具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115533813B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211175099.X，技术领域涉及：B25B27/00；该发明授权静电吸盘安装拆卸工具是由张亚新;冯鹏;谈太德;孙晓波;杨辰烨;李钦波设计研发完成，并于2022-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘安装拆卸工具在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种静电吸盘安装拆卸工具。本发明提出的一种静电吸盘安装拆卸工具，包括：静电吸盘组件取放工装，所述静电吸盘组件取放工装，用于与静电吸盘组件进行紧固连接；数根导向轴，一端与腔体底部连接，所述静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件沿导向轴进入或者取出腔体；数个紧固件，用于将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件进行紧固连接以及将静电吸盘组件与腔体进行紧固连接。本发明提出的静电吸盘安装拆卸工具，可以实现静电吸盘组件的快速安装与拆卸，一方面对静电吸盘组件的安装和拆卸更为方便、安全、稳定，另一方面可以有效减少静电吸盘组件的维护工时，提高HDP‑CVD设备的维护效率。
本发明授权静电吸盘安装拆卸工具在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述静电吸盘安装拆卸工具包括：静电吸盘组件取放工装，所述静电吸盘组件取放工装，用于与静电吸盘组件进行紧固连接；数根导向轴，一端与腔体底部连接，所述静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件沿导向轴进入或者取出腔体；数个紧固件，用于将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件进行紧固连接以及将静电吸盘组件与腔体进行紧固连接；静电吸盘组件放置台，所述静电吸盘组件放置台，用于放置拆卸后的静电吸盘组件；所述静电吸盘组件放置台，包括底部基座和上层基座；所述上层基座，用于直接承载静电吸盘组件；所述底部基座，与上层基座连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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