恭喜上海交通大学丁桂甫获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海交通大学申请的专利一种SU-8微透镜阵列的光刻-抛光直接成型制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115421229B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211147350.1，技术领域涉及：G02B3/00；该发明授权一种SU-8微透镜阵列的光刻-抛光直接成型制造方法是由丁桂甫;张清泽;孙云娜;石现;张炎鑫设计研发完成，并于2022-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SU-8微透镜阵列的光刻-抛光直接成型制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种SU‑8微透镜阵列的光刻‑抛光直接成型制造方法，包括：在基片上布置光刻胶SU‑8，然后通过光刻工艺，使其成型为SU‑8微柱阵列；以及利用化学机械抛光技术，对SU‑8微柱阵列抛光，使其成型为SU‑8微透镜阵列。该方法适用于将微透镜阵列直接原位集成制造在已成型的器件上，无需额外的对准、转移、键合步骤，制备出的SU‑8微透镜阵列具有形貌良好、尺寸可控、化学稳定性和热稳定性好等优点。
本发明授权一种SU-8微透镜阵列的光刻-抛光直接成型制造方法在权利要求书中公布了：1.一种SU-8微透镜阵列的光刻-抛光直接成型制造方法，其特征在于，包括：在基片上布置光刻胶SU-8，然后通过光刻工艺使其成型为SU-8微柱阵列；利用化学机械抛光技术，对SU-8微柱阵列抛光，使其成型为SU-8微透镜阵列，所述SU-8微透镜阵列包括多个SU-8微透镜，所述SU-8微透镜包括下基座和位于下基座之上的上平凸透镜；将SU-8微柱阵列抛光时，选用柔性抛光垫和氧化铝抛光液，选用的抛光盘转速范围为5-70rpm；所述柔性抛光垫为丝绒抛光垫，其绒毛的截面直径为20-30μm，高度约为1mm；将SU-8微柱阵列抛光时，通过调整精密抛光夹具，使SU-8微柱阵列完全嵌入丝绒抛光垫的绒毛中；以及对SU-8微透镜阵列进行精抛。
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