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龙图腾网恭喜上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司申请的专利一种基于Co掺杂三氧化钨纳米材料的氨气MEMS气体传感器的制备及其产品和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115494114B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211102178.8，技术领域涉及：G01N27/00；该发明授权一种基于Co掺杂三氧化钨纳米材料的氨气MEMS气体传感器的制备及其产品和应用是由崔大祥;葛美英;张芳;卢玉英;张放为;王金设计研发完成，并于2022-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于Co掺杂三氧化钨纳米材料的氨气MEMS气体传感器的制备及其产品和应用在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于Co掺杂三氧化钨纳米材料的氨气MEMS气体传感器的制备及其产品和应用，通过在制备凝胶过程中加入ZIF‑67，然后在空气氛围下高温焙烧，制备Co掺杂WO3纳米材料，利用ZIF‑67孔隙率高的特点进一步增加纳米材料的孔隙率，该方法制备的样品可用于氨气的检测。本发明制备方法简单，通过增加材料孔隙率及Co掺杂提升WO3纳米材料对气体响应的灵敏度和选择性，将其制作MEMS器件，可以增加气体传感器长期工作状态下的稳定性。

本发明授权一种基于Co掺杂三氧化钨纳米材料的氨气MEMS气体传感器的制备及其产品和应用在权利要求书中公布了：1.一种基于Co掺杂三氧化钨纳米材料的氨气MEMS气体传感器在检测氨气中的应用，其特征在于，基于Co掺杂三氧化钨纳米材料的氨气MEMS气体传感器的制备方法包括如下步骤：1取50mL去离子水置于烧杯中，然后加入3~8mmol的柠檬酸，溶解后按葡萄糖与柠檬酸摩尔比1：1.3~2加入葡萄糖，搅拌30min后加入钨酸钠，钨酸钠与柠檬酸摩尔比为1：2~3，搅拌30min后加入0.3~0.6g的ZIF-67和2~5mmol的乙二醇，用保鲜膜将烧杯封口，然后置于水浴锅中，80~90℃搅拌至溶液成为胶体；2取适量步骤（1）所得胶体均匀涂覆于Pt插指电极的MEMS基底上，然后置于管式炉中，于空气氛围下焙烧，焙烧温度为400~450℃，时间为1~2h，升温速率为1~2℃min，待降至室温后得到Co掺杂WO3纳米材料的氨气MEMS气体传感器；步骤（1）所述的ZIF-67制备方法为：将1mmol的CoNO32・6H2O和4mmol的2-甲基咪唑分别溶解于25mL甲醇中，然后将二者混合，室温下搅拌10min后，于室温下静置24h，离心取沉淀，干燥后得到ZIF-67。

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