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龙图腾网恭喜安泰天龙(北京)钨钼科技有限公司;安泰天龙钨钼科技有限公司;安泰科技股份有限公司申请的专利一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114855131B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210567614.2，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用是由熊宁;王广达;弓艳飞;牛曼;杨亚杰;李旺;刘洁;常洋;蔡立辉设计研发完成，并于2022-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用在说明书摘要公布了：本发明属于粉末冶金技术领域，具体提供一种钼合金靶材及其制备方法和应用。所述钼合金靶材的制备方法包括如下步骤：配制原料：按照所述靶材各元素质量配比称取原料混合，以质量百分数计，所述靶材包括如下成分，Ni：10％～30％，Ti：5％～25％，W：1％～20％和Re：0.5％～5％，余量为Mo和不可避免的杂质，且Mo的质量百分比≥50％；冷等静压；热等静压；热轧；退火。本申请方法制备的靶材塑韧性好，变形能力好，晶粒细小均匀。用本申请制备的靶材溅射沉积的薄膜厚度分布更均匀，可通过溅射方式附着在电子部件用层叠配线膜的主导电层上形成金属覆盖层，用于平面显示器、薄膜太阳能和半导体装置等。

本发明授权一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用在权利要求书中公布了：1.一种钼合金靶材的制备方法，包括如下步骤：1配制原料：按照所述靶材各元素质量配比称取原料进行混合，得到混合粉末；其中，以质量百分数计，所述靶材包括如下成分，Ni：10％～30％，Ti：5％～25％，W：1％～20％和Re：0.5％～5％，余量为Mo和不可避免的杂质，且Mo的质量百分比≥50％；2冷等静压：将步骤1中的混合粉末装入模具，进行冷等静压，得到冷压坯体；3热等静压：将冷压坯体装入包套，进行热等静压，得到带包套的热压坯体；4热轧：将热压坯体的包套去除后，使用金属板包覆热压坯体，然后进行热轧处理，热轧后去除金属板，得到轧件；其中，每道次轧制前加热保温温度在前一道次轧制前加热保温温度的基础上降低大于0℃小于等于50℃；所述热轧处理的开坯温度为1000℃～1350℃，终轧温度为900-1100℃；单道次轧制变形量为15％～25％，所述热轧处理的总变形量为40％～80％；5退火：对轧件进行退火处理，得到所述钼合金靶材。

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