恭喜广东广纳芯科技有限公司许欣获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东广纳芯科技有限公司申请的专利声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114584101B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210230145.5,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器是由许欣设计研发完成,并于2022-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器在说明书摘要公布了:本发明提供一种声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器,具有高品质因素Q、高机电耦合系数、良好的TCF特性和耐功率性。本发明的声表面波谐振器,包括:复合压电衬底,该复合压电衬底具有:LGS基底层,该LGS基底层由单晶LGS形成,及形成在LGS基底层之上的GaN压电层,该GaN压电层的厚度不超过在声表面波谐振器中传播的声波波长的20倍;以及形成在GaN压电层上的叉指电极。
本发明授权声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器在权利要求书中公布了:1.一种声表面波谐振器,其特征在于,包括:复合压电衬底,该复合压电衬底具有:LGS基底层,该LGS基底层由单晶LGS形成,及形成在所述LGS基底层之上的GaN压电层,该GaN压电层的厚度不超过在所述声表面波谐振器中传播的声波波长的20倍;以及形成在所述GaN压电层上的叉指电极。
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